카이스트 물리학과 양찬호 교수님 연구실의 김지훈입니다.

저희가 2020년 12월 경에 설치해주신 가스 캐비넷을 이용하던 중에 압력 게이지에 이상이 있는 것 같아서 문의 드립니다.

가스 캐비넷을 통하여 KrF가스를 레이저에 리필하던 중에 레귤레이터 중 레이저 기구 쪽 라인이 아니라 가스통 쪽 압력이 마이너스가 되어 경고가 울렸습니다.

레이저 엔지니어에게 문의한 결과 레이저 리필 중에는 펌프를 사용하지 않기에 대기압보다 낮아지면 리필이 안된다고 하시더라고요.

또한 제가 확인하였을 때는 레귤레이터에서 표기 된 가스통 압력은 상압 이상이였습니다.

이러한 이유로 가스 캐비넷 위쪽에 있는 압력 표시기에 이상이 있는 것으로 판단되어 문의 드립니다.

대략 410 psi에서 리필을 시행하였으며 반대편 레이저 방향 가스관 압력은 60psi로 레귤레이터를 이용해 계기판 기준으로 맞추고 실행하였습니다. 
따로 가스 냄새도 나지 않았고 레이저 쪽 가스 압력은 오히려 상압 이상으로 표기되었습니다.

리필 중간에 압력계 사진링크 첨부합니다.

감사합니다.

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https://ifh.cc/v-2Sr4vD